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中国科学院:双光栅龙奇横向剪切干涉波前像差的快速测量

论论资讯 | 2023-03-01 5热度

Optical Engineering

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Fast measurement of wavefront aberration in double-grating Ronchi lateral shearing interferometry

Lu Y.; Tang F.; Li Z.; Wang X.

Published:2023-03-01
DOI:10.1117/1.oe.62.3.034105

研究背景

快速测量波前像差是光学领域中的重要问题,因为波前像差会影响光学系统的性能。在当前的研究领域中,双光栅Ronchi侧向剪切干涉法是一种常用的波前像差测量方法。然而,Ronchi光栅在图像平面产生的不需要的衍射干涉会影响测量的精度,而目前解决这个问题的方法是增加更多的相移,这会增加测量时间。因此,需要一种更快速、更准确的测量方法来解决这个问题。

研究内容

本文提出了一种阶梯相移算法,以减少不需要的衍射干涉并准确地检测±1级次序之间的剪切相位,从而提高测量效率至少25%。此外,该文还分析了干涉图中存在的高衍射级次,以确定最小相移数。通过数值模拟和实验验证,证明了所提出的方法的有效性。通过与点扩散干涉法的结果进行比较,验证了波前测量的准确性,均方根误差在2.0纳米以内。

研究意义

本文提出了一种更快速、更准确的测量方法,可用于双光栅Ronchi侧向剪切干涉法中的波前像差测量。该方法可以减少不需要的衍射干涉并准确地检测剪切相位,从而提高测量效率。此外,该文还通过与点扩散干涉法的结果进行比较,证明了所提出的方法的准确性和可靠性。这项研究为光学领域中波前像差测量提供了新的思路和方法,具有重要的应用价值。

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