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直流中频磁控溅射沉积钛铝钽氮涂层的结构和力学性能

论论资讯 | 2023-03-01

Metals

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Structure and Mechanical Properties of Ti-Al-Ta-N Coatings Deposited by Direct Current and Middle-Frequency Magnetron Sputtering

Shugurov A.R.; Kuzminov E.D.; Garanin Y.A.

Published:2023-03-01
DOI:10.3390/met13030512

研究背景

在当今社会,材料科学和工程领域中的涂层技术被广泛应用于各种行业,如航空、汽车、电子和医疗设备等。然而,传统的涂层技术在一些方面存在一些问题,例如涂层的微观结构和机械性能不足。因此,如何改善涂层的性能一直是该领域的研究热点之一。

研究内容

《Metals》杂志上发表的一篇论文研究了采用中频磁控溅射技术(MFMS)制备的Ti-Al-Ta-N涂层的结构和机械性能。与传统直流磁控溅射技术(DCMS)制备的Ti-Al-Ta-N涂层相比,MFMS制备的涂层具有更加致密的微观结构,由碎片状柱状晶粒和等轴晶粒交替组成,晶粒尺寸更小。这种涂层的硬度、韧性和附着力都得到了提高,其磨损率是DCMS涂层的一半以下。

研究意义

该研究的创新点在于采用了MFMS制备涂层,通过调节涂层的微观结构来改善其机械性能。该研究对于涂层技术的发展具有重要意义,可以为制备高性能涂层提供新思路和方法。此外,该研究还为提高航空、汽车、电子和医疗设备等领域的涂层性能提供了有益的参考。

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