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清华大学Enming, Zhang与Ye, Weinan等团队:基于ZEMAX的干涉仪中鬼反射的优化算法识别与分析

论论资讯 | 2023-03-01 3热度

Optical Engineering

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Identification and analysis of ghost reflection in the interferometers based on ZEMAX by optimization algorithms

Zhang E.; Ye W.; Xia Y.; Wang L.; Zhang M.

Published:2023-03-01
DOI:10.1117/1.oe.62.3.034103

研究背景

在现代社会,精密加工和测试设备的发展越来越受到人们的关注。精密测量是这些设备中非常重要的一部分,而光干涉仪是一种常用的精密测量设备。然而,光学元件中的幽灵反射现象可能会导致干涉仪的周期性非线性误差,从而影响测量精度。因此,如何减少幽灵反射对干涉仪的影响成为了当前研究领域中的一个重要问题。

研究内容

本论文提出了一种基于优化算法的幽灵反射接口自动识别的通用方法,可以分析任何干涉仪的每个接口的幽灵反射影响权重。同时,通过优化算法,可以在干涉仪设计中避免幽灵反射,从而有效降低干涉仪的制造成本。实验结果证明了干涉仪中不同位置的幽灵反射影响权重,并提供了干涉仪最适合的接口反射参数选择。

研究意义

本研究的创新点在于提出了一种通用的自动识别幽灵反射接口的方法,并通过优化算法减少了干涉仪中幽灵反射的影响。这一方法不仅可以提高干涉仪的测量精度,还可以降低干涉仪的制造成本,具有重要的应用价值。

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