清华大学张昊在Nature Communications（IF=18）上发表的第1篇论文
论论资讯 ｜ 2024-04-05 ｜
30热度
Nature Communications
Explore content
About the journal
Publish with us
Crosslinking-induced patterning of MOFs by direct photo- and electron-beam lithography
Tian Xiaoli; Li Fu; Tang Zhenyuan; Wang Song; Weng Kangkang; Liu Dan; Lu Shaoyong; Liu Wangyu; Fu Zhong; Li Wenjun; Qiu Hengwei; Tu Min; Zhang Hao; Li Jinghong
Published：2024-04-04
DOI：10.1038/s41467-024-47293-6
研究背景
由于金属有机框架材料（MOFs）在化学、结构和性质方面的多样性，它们已成为微型固态器件的吸引人材料。然而，将MOF薄膜纳入这些器件中需要强大的图案化方法。然而，现有的MOF图案化方法存在一些问题，如材料适应性有限，图案分辨率和可扩展性受到损害，性能下降等。
研究内容
本研究报道了一种通用的交联诱导图案化方法，称为CLIP-MOF，适用于各种MOFs。通过无阻抗、直接光刻和电子束（电子束）光刻，配体交联化学反应导致胶体MOFs的溶解度大大降低，允许使用显影剂有选择地去除未暴露的MOF薄膜。这使得MOFs在大面积、刚性或柔性基底上可进行可扩展的微/纳米级（约70nm分辨率）和多材料图案化。图案化的MOF薄膜保留其结晶性、孔隙性和其他为目标应用定制的特性，例如衍射气体传感器和电致变色像素。CLIP-MOF的组合特性在各种电子、光子和生物医学器件中集成MOFs方面创造了更多可能性。
研究意义
本研究提出了一种通用的、可扩展的、高分辨率的MOF图案化方法，可以在大面积、刚性或柔性基底上进行微/纳米级别的图案化。这种方法可以保留MOF薄膜的结晶性、孔隙性和其他特性，为MOFs在各种电子、光子和生物医学器件中的集成创造更多可能性。该研究为MOFs在微电子学和纳米光子学等领域的应用提供了有力的支持。
学术热榜
查看全部
相关资讯
换一批